基本概述
简介
外文名称：quartz glass；silica glass；fused quartz；fused silica ；vycor glasses形成用途
石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、
石英玻璃
定义
石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料
石英玻璃
化学性质
石英玻璃具有极低的热膨胀系数，高的耐温性，极好的化学稳定性，优良的电绝缘性，低而稳定的超声延迟性能，最佳的透紫外光谱性能以及透可见光及近红外光谱性能，并有着高于普通玻璃的机械性能。因此它是近代尖端技术中空间技术、原子能工业、国防装备、自动化系统，以及半导体、冶金、化工、电光源、通讯、轻工、建材等工业中不可缺少的优良材料之一。 石英玻璃是用天然结晶石英（水晶或纯的硅石），或合成硅烷经高温熔制而成
石英玻璃
纯度
概述
纯度是石英玻璃的重要指标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温
石英玻璃
详细
表1 石英玻璃的化学纯度 名称 单位 ×10-4 % Al Fe Ca Mg Ti Cu Mn Ni Pb Sn Cr B K Na Li OH 电熔石英玻璃 32 2.0 1.5 1.5 2.08 0.2 0.27 0.2 0.2 <0.3 <0.3 0.2 2.12 5.31 <0.3 5 气炼石英玻璃 16 0.92 1.5 0.4 1.0 0.01 0.05 <0.3 <0.3 <0.3 <0.3 0.2 1.49 1.67 <0.3 400 电弧石英玻璃 10.4 0.3 0.6 0.3 1.35 0.05 <0.05 <0.3 <0.03 <0.03 <0.03 <0.1 0.7 1.0 1.0 27 合成高纯石英玻璃 0.37 0.31 0.27 0.04 0.03 0.03 0.01 <0.03 <0.03 <0.03 <0.03 0.02 0.5 0.5 <0.03 1200 红外光学石英玻璃 35 1.45 2.68 1.32 1.06 0.22 0.07 <0.03 <0.03 <0.03 <0.03 0.3 2.2 3 <0.3 5 紫外光学石英玻璃 3.9 0.4 3.5 1.2 0.45 0.1 0.02 0.06 0.04 0.02 0.03 0.1 0.5 1.5 0.05 1200 不透明石英玻璃 56 7.4 15.3 1.57 1.5 0.2 0.1失透性
失透（又叫析晶性）是石英玻璃的一个固有缺陷，从热力学观点看，石英玻璃
石英玻璃
化学性能
石英玻璃属酸性材料，除氢氟酸和热磷酸外，对其它任何酸均表现为惰性，是最好的耐酸材料。在常温下碱和盐对石英玻璃的腐蚀程度也是极微的，因此不排除在这些试剂中使用石英玻璃。 透明石英玻璃比不透明石英玻璃具有更好的化学稳定性，这是因为后者由于气泡的存在暴露在腐蚀液中的表面积增加所致。 表2 各种溶液侵蚀石英玻璃的重量损耗 溶液名称 浓度（比重） 温度（℃） 浸蚀时间（小时 ） 重量损耗（克/米2 ） 透明石英玻璃 不透明石英玻璃 盐酸 1.19 60 24 0.034 0.16 硝酸 1.40 115 24 0.11 0.15 硫酸 1.84 205 24 0.06 0.13 氢氟酸 38% 室温（22℃） 2 259.39 379.80 磷酸 200 15 微量 300 15 58.00 氢氧化钠 1% 101 2 0.80 5.15 氢氧化钾 1% 98 2 0.68 4.63 氢氧化铵 25% 65 2 0.09 0.33 氯化钠 10% 102 2 0.14 0.34 碳酸钠 10% 102 2 1.20 4.99离子扩散及透气性
石英玻璃的结构十分松弛，甚至在高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散，其中以钠离子的扩散为最快。石英玻璃的这一性能对于使用者尤为重要，例如，半导体工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时，由于半导体材料要求很高的纯度，所以要求与石英玻璃接触的作为炉衬的耐火材料必须预先经过高温和清洁处理，除掉钾、钠等碱性杂质，然后才能放入石英玻璃内使用。各种离子在石英玻璃中的扩散系数见表3 表3 各种离子在石英玻璃中的扩散系数 透明石英玻璃 合成石英玻璃 Na+ 2×10-4 5×10-5 Ca2+ 2×10-8 Al3+ <10-12 <10-12 Ag+ 10-5 10-7 注： 1.在1100℃下的扩散系数 2.单位：厘米2/秒 在常温下，可以认为石英玻璃是不透气的，在高温（例如700℃）下，某些气体的透气常数也很小。因此可以用在高温高真空装备中。石英玻璃的透气常数及用石英玻璃作容器连续抽真空所的最高真空度见表4、表5. 表4 石英玻璃容器连续抽真空所获得的最高真空度（实验条件） 种类 真空度（毫米汞柱）及温度（℃） 20 900 透明石英玻璃 3.7×10-6 7.0×10-6 不透明石英玻璃 1×10-5 7.4×10-6 表5 石英玻璃的透气常数K 气体 透气常数K 200℃ 400℃ 600℃ 700℃ 800℃ 900℃ 1000℃ 氦 1.39 6.15 16.4 21.9 28.5 36.2 45.4 氢 0.022 0.37 1.43 2.52 4.25 6.40 10.00 氘（重氢） 17 氖 2.8 4.2 氩 <10-15 氧 <10-15 氮 <10-15 单位：×10-10厘米3.毫米/秒.厘米2乇（在标准压力下）电学性能
表6 石英玻璃的电性能 性能名称 电性能指标及种类 透明石英玻璃 不透明石英玻璃 耐击穿电压（仟伏/毫米） 室温 >30 >16 500℃ 11 7.6 介电常数（106赫） ε=3.7 ε=3.5 介电损耗tgδ(50周/秒) 0.0003 0.001 电阻（欧姆.厘米） 20℃ 1×1019 1×1015 500℃ 3×108 1×107 1000℃ 1×106 3×104 石英玻璃具有很高的介电强度和极低的导电率，即是在高温、高压和高频下，仍能保持很高的介电强度和电阻，在所应用的频带内几乎没有介电损耗，因此石英玻璃是优良的高温介电绝缘材料。光学性能
石英玻璃的光学性能有其独到之处，它既可以透过远紫外光谱，是所有透紫外材料最优者，又可透过可见光和近红外光谱。用户可以根据需要，从185-3500mμ波段范围内任意选择所需品种。由于石英玻璃耐高温，热膨胀系数极小，化学热稳定性好，气泡、条纹、均匀性、双折射又可与一般光学玻璃媲美，所以它是在各种恶劣场合下工作具有高稳定度光学系统的必不可少的光学材料。 石英玻璃的结构，杂质含量，OH基因及NO、CO等含量是影响光谱透过率的主要因素，氧原子结合不良在0.24μ处则有吸收峰，含有OH基团的石英玻璃，在2.7μ处由于分子振动将产生明显的吸收峰，紫外透过率低主要是由于金属杂质多造成原子吸收光谱所致。 石英玻璃的光谱特性曲线 电熔石英玻璃是很好的透红外材料，但由于杂质的存在，紫外透过率低。氢氧焰熔制水晶所获得的石英玻璃，由于氧结构缺陷，在0.24μ处有吸收峰，同时含有OH基团，所以红外透过极低。用合成原料气炼的高纯光学石英玻璃是最好的透紫外材料，但在2.7μ处有严重的OH吸收峰。只有用合成原料通过电熔或无氢火焰熔融而成的光学石英玻璃，才能很好地透过从远紫外到近红外的连续光谱。 石英玻璃的折射率及光学常数见表7、表8. 表7 光学石英玻璃的折射率（之一） 波长（毫微米） 水晶熔制石英玻璃 合成石英玻璃 185.41 1.57464 - 193.53 1.56071 - 202.54 1.54729 1.54717 206.20 1.54269 1.54266 213.85 - 1.53434 214.45 1.53385 - 226.50 1.52318 1.52299 232.94 1.51834 - 237.83 - 1.51473 248.20 - 1.50841 250.20 1.50762 - 257.62 1.50397 1.50351 265.36 - 1.49994 274.87 1.49634 - 280.35 - 1.49403 289.36 - 1.49098 298.06 1.48859 1.48837 307.59 - 1.48575 313.17 - 1.48433 328.36 1.48183 - 334.15 - 1.47976 340.36 1.47877 1.47860 346.69 1.47766 1.47748 361.17 1.47513 1.47503 365.48 - 1.47448 398.84 1.47028 - 404.65 - 1.46961 435.83 1.46679 1.46669 486.13 1.46324 1.46314 546.07 1.46021 1.46007 587.56 1.45857 1.45847 656.27 1.45646 1.45637 注：测量误差：±3×10-5 表7 光学石英玻璃的折射率（之二） 波长λ(微米) 折射率 波长λ(微米) 折射率 0.67 1.456066 1.30 1.446980 0.68 1.455818 1.40 1.445845 0.69 1.455579 1.50 1.444687 0.70 1.455347 1.60 1.443492 0.80 1.453371 1.70 1.442250 0.90 1.451808 1.80 1.440954 1.00 1.450473 1.90 1.439957 1.10 1.440261 2.00 1.438174 1.20 1.448110 2.10 1.436680 2.20 1.435111 2.90 1.421684 2.30 1.433462 3.00 1.41937 2.40 1.431730 3.10 1.41694 2.50 1.429911 3.20 1.41440 2.60 1.428001 3.30 1.41173 2.70 1.425995 3.40 1.40893 2.80 1.423891 3.50 1.40601 表8 石英玻璃的光学常数 项目 指标及品种 水晶熔制石英玻璃 合成石英玻璃 Nd(He587.56mμ) 1.45857 1.4587 Nf(H486.13mμ) 1.46324 1.46314 Nc(H656.27mμ) 1.45646 1.45637 色散系数 V=(Nd-1)/(Nf-Nc) 67.6 67.7 中部色散: Nf-Nc 0.00678 0.00677热学性能
基本资料
石英玻璃的热膨胀系数小，为5.5×10-7/℃，只有普通玻璃的1/12～1/20.部标准规定将试样灼烧到1200℃后急速投到冷水中，反复三次以上不允许炸裂。石英玻璃加入适量钛元素后还可做成零膨胀系数的材料，在激光技术、天文和尖端技术中已得到应用。详细信息
透明石英玻璃的膨胀系数是温度的函数： α0,t=1/L0 ×(Lt-L0)/t 式中：L0=温度0℃时的长度 Lt=温度t℃时的长度 t=摄氏温度 石英玻璃的粘度，导热率、比热及使用温度等见表9,10,11,12,13. 表9 石英玻璃的粘度（应变点、退火点、软化点）与温度的关系 粘度(lgη,泊) 水晶石英玻璃 合成石英玻璃 应变点 14.5 1075℃±25 1025℃±25 退火点 13.0 1140℃±25 1120℃±25 软化点 7.6 1730℃±40 1600℃±40 加工范围 5～8 1700～2100℃ 1600～2000℃ 表10 石英玻璃的导热系数 温度(℃) 导热系数卡/厘米.秒.℃ 透明石英玻璃 不透明石英玻璃 20 0.00331 0.00297 100 0.00367 0.00345 200 0.00394 0.00386 300 - - 400 0.00447 0.00453 500 - - 600 0.00484 0.00503 700 - - 800 0.00514 0.00534 1000 0.00547 0.00550 1200 0.00581 0.00569 表11 石英玻璃的比热 温度(℃) 比热（卡/克.℃） 透明石英玻璃 不透明石英玻璃 -250 0.007 - -100 0.112 - 0 0.168 - 20 0.213 0.205 100 - - 200 0.213 0.205 300 0.220 0.218 400 0.230 0.228 500 0.224 0.237 600 0.240 0.242 700 0.250 0.247 800 0.260 - 1000 0.273 - 1200 - - 表12 石英玻璃的使用温度 使用状况 最大连续工作温度 最大短期工作温度 水晶熔制石英玻璃 1100℃ 1300℃ 合成石英玻璃 950℃ 1200℃ 不透明石英玻璃 800℃ 1000℃ 表13 石英玻璃与其它材料热膨胀值的比较（1米长试样的膨胀值） 材料 0～500℃（mm） 0～1000℃（mm） 热膨胀值的比较（0～500℃，倍） 石英玻璃 0.27 0.48 1 硬质玻璃 1.8 - 6.7 平板玻璃 5.0 - 18.3 高铝砖 4.0 7.9 14.8 碳化硅材料 2.3 4.5 8.5 铜 9.0 - 31.5 炭素钢 7.0 14.9 25.9机械性能
简介
石英玻璃的机械性能比硬质玻璃和陶瓷都好，唯脆性较差。石英玻璃的理论计算强度很高，约为24×103MPa，但实际测得的强度要比这个数值低数十倍。影响强度的主要因素首先是玻璃的表面缺陷，特别是表面微裂纹的大小及深度影响最为明显，细磨的石英玻璃试样比粗磨的试样，其抗折强度约增加0.6倍；其次是内在缺陷，例如，气泡、杂质、熔化不均以及残余应力等。 石英玻璃的强度随着温度的升高而增加，接近退火温度时达到最大值。 石英玻璃的剪切模量、杨氏模量、阻尼、泊松比、破坏模量一般均随着温度的升高而增加，硬度则随着温度的升高而降低。详细信息
表14 石英玻璃管的破坏压力 透明石英玻璃管 不透明石英玻璃管 管内径mm 壁厚mm 破坏压力 千克/厘米2 管内径mm 壁厚mm 破坏压力 千克/厘米2 4 0.5 83 15 2.5 15 5 1.0 150 57 9.0 10 7 2.0 220 80 11.0 13 8 1.0 100 200 13.0 7 9 2.0 190 370 14.0 3 10 1.0 70 表15 石英玻璃的物理机械性能 性能 单位 机械性能 名称 透明石英玻璃 不透明石英玻璃 密度 克/厘米 3 2.21 2.06-2.184 硬度 莫氏 5-7 5-6 抗压强度 Mpa 800-1000 413.4-813.0 抗折强度 Mpa 60-70 40-60 抗拉强度 Mpa 49 35 抗冲击强度公斤.厘米/厘米2 1.08 0.85 弹性模量 （杨氏模量） 20℃ Gpa 77.8 72.5 50℃ Gpa 82.0 76.0 900℃ Gpa 85.0 78.3 泊桑比:20℃ 0.17 刚性率: 20℃ Gpa 34.1 31.0 500℃ Gpa 35.8 34.3 900℃ Gpa 36.9 35.3 纵波声速 米/秒 5.72×103 超声速度: 纵 米/秒 5.95×103 横 米/秒 3.76×103 超声阻尼: 纵 克/厘米2.秒 10.09 横 克/厘米2.秒 8.27使用须知
1.石英玻璃制品是贵重的材料，使用时必须轻拿轻放，十分小心； 2.各种石英玻璃都有一个最高使用温度，使用时不应超过此温度，否则会析晶或软化变形； 3.需高温使用的石英玻璃，使用前必须擦拭干净。可以用10%的氢氟酸或洗液浸泡，然后用高纯水清洗或酒精处理。操作时应戴细线手套，不允许用手直接触及石英玻璃； 4.高温下允许连续使用石英玻璃制品，这对延长石英玻璃的寿命和提高耐温性能是有好处的。反之，高温下间歇使用石英玻璃制品，其使用次数是有限的； 5.石英玻璃材质虽具有极高的热稳定性，可以经受剧烈的温差骤变。但实际使用时，由于残余应变和产品形状不同，热稳定性有一定的差别，使用时应加以注意； 6.石英玻璃系酸性材料，高温使用时严格避免同碱性物质（如水玻璃、石棉、钾钠的化合物等）接触，否则将大大降低其抗结晶性能。
石英玻璃封面